EDUKACYJNE CENTRUM MIKROTECHNOLOGII
Laboratoria Technologiczne ECM
w Katedrze Przyrządów Półprzewodnikowych i Optoelektronicznych PŁTematyka projektowania i technologii przyrządów półprzewodnikowych jest obecna w pracach zespołu Katedry
Przyrządów Półprzewodnikowych i Optoelektronicznych (do roku 2007 występującego jako Zakład Przyrządów Półprzewodnikowych
Instytutu Elektroniki) od wielu lat. Przełomowym momentem w tym zakresie był jednak rok 1996, w którym zespół ten uzyskał
Projekt Unii Europejskiej TEMPUS JEP-11298-96 'Education of Microtechnology (EMIT)'.
Budżet tego projektu sięgał 800.000 euro, a jego podstawowym celem było utworzenie Edukacyjnego Centrum Mikrotechnologii (ECM),
którego główny trzon stanowiły laboratoria technologiczne mikroelektroniki. Stworzyło to realną możliwość dołączenia
Politechniki Łódzkiej do ekskluzywnego grona europejskich uczelni technicznych posiadających takie laboratoria i
możliwość ta została w pełni wykorzystana.
Technologiczne laboratoria mikroelektroniki należą do obszaru wysoko zaawansowanych technologii, nazywanego popularnie
obszarem Hi-Tech (ang. High-Technology). Różnią się one istotnie od typowych laboratoriów badawczych. Aparatura stosowana
przy wytwarzaniu przyrządów półprzewodnikowych jest skomplikowana i kosztowna, a same procesy technologiczne
wymagają często wyjątkowej, niespotykanej gdzie indziej, czystości. Standardem są tu specjalnie klimatyzowane izolowane
pomieszczenia, tzw. clean room'y, których czystość mierzy się liczbą pyłków przypadającą na 1 stopę sześcienną (ok. 0,04m3).
W pomieszczeniach tych może być ona nawet poniżej 10, podczas gdy w obszarze otwartym przekracza ona zwykle milion.
Stworzenie od zera takiej bazy laboratoryjnej oraz zespołu specjalistów niezbędnego do jej obsługi było ogromnym wyzwaniem
przed którym stanął zespół realizujący projekt TEMPUS. Skala tego przedsięwzięcia przerasta możliwości zespołu realizującego projekt
w Politechnice Łódzkiej i był on w tym zakresie wspomagany przez krajowych i zagranicznych partnerów projektu TEMPUS. Nieoceniona
była tu pomoc kolegów z zespołu kierowanego przez prof. Andrzeja Jakubowskiego z Instytutu Mikrelektroniki i Optoelektroniki
Politechniki Warszawskiej oraz z LAMINY S.A., jedynej obecnie polskiej firmy półprzewodnikowej.
W zakupach wyposażenia do laboratoriów EMC oraz w szkoleniu jego kadry, obok partnerów polskich, pomagały Politechniki w
Berlinie (Technische Universität Berlin) i Braunschweigu (Technische Universität Braunschweig) w Niemczech,
State University of Gent w Belgii oraz Centrum Badawcze Unii Europejskiej w Isprze (Joint Research Centre) we Włoszech. Osiągnięcie
zamierzonych celów nie byłoby możliwe bez wsparcia udzielonego przez władze Uczelni, głównie w zakresie pozyskania odpowiednich
pomieszczeń oraz środków na ich adaptacje. Wsparcie ze strony Rektora prof. dr hab. Jana Krysińskiego, a szczególnie osobiste
zaangażowanie Dziekana Wydziału Elektrotechniki i Elektroniki prof. dr hab. Jana Leszczyńskiego, były w niektórych przypadkach decydujące
dla losów całego przedsięwzięcia.
Od ponad 10 lat Edukacyjne Centrum Mikrotechnologii działa z powodzeniem w Katedrze Przyrządów Półprzewodnikowych i Optoelektronicznych pod
kierunkiem prof. dr hab. Zbigniewa Lisika. W tym czasie stworzono od podstaw nowe laboratoria, skompletowano i przeszkolono
kadrę odpowiednich specjalistów oraz utworzono pomieszczenia o parametrach "cleam room". W okresie tym zakupiono i pozyskano dla laboratoriów
sprzęt o szacunkowej wartości ok. 4.500.000 złotych korzystając tak z środków Projektu TEMPUS jak i pozyskanych z innych źródeł.
W wielu przypadkach jest to sprzęt unikalny w skali kraju, jak np. stepper czy jedyne w Polsce stanowisko do prowadzenia procesów technologicznych
w temperaturach powyżej 2000°C, dzięki którym Politechnika Łódzka jest jedynym w Polsce ośrodkiem, w którym można prowadzić procesy
wysokotemperaturowe, charakterystyczne dla technologii wytwarzania przyrządów z węglika krzemu. Sprzęt ten jest zgrupowany w 4 laboratoriach
technologicznych:
Podstawowe Laboratorium Technologii Mikroelektroniki
Zaawansowane Laboratorium Technologii Mikroelektroniki
Laboratorium Układów Hybrydowych
Laboratorium Cienkich Warstw
copyright (c) 2009