Mikro i nanotechnologie elektroniki
opiekun:
dr inż. Andrzej Kubiak
telefon: 42 6312681
 Technologie mikroelektroniki
Formy dydaktyczne zajęć: 30w 30l
Podstawowe treści kształcenia:
Podstawowe własności materiałów półprzewodnikowych dla mikroelektroniki; Organizacja procesów technologicznych, zasady projektowania, ograniczenia fizyczne budowy układów scalonych, kierunki rozwoju; Laboratorium typu clean-room; Cząstki zanieczyszczeń, klasy czystości, reguły budowy i postępowania w obiektach o podwyższonej czystości; Podloża krzemowe - wytwarzanie, monokryształów, cięcie, polerowanie, podstawowe parametry; Warstwy dielektryczne tlenek krzemu własności, wytwarzanie, charakteryzacja; Domieszkowanie dyfuzja termiczna, implantacja jonowa, źródła domieszek; Metalizacja - materiały, metalizacja wielopoziomowa, kontakty omowe i prostujące; Fotolitografia - wymiar krytyczny, trawienie mokre i suche. Procesy technologiczne i aparatura do nakładania warstw cienkich; Naparowywanie próżniowe; Rozpylanie katodowe; Pomiary warstw cienkich; Właściwości warstw metalicznych; Właściwości warstw półprzewodnikowych i izolacyjnych; Zastosowanie cienkich warstw.
 Nanotechnologie
Formy dydaktyczne zajęć: 30w 30l
Podstawowe treści kształcenia:
Podstawowe wiadomości o mikrosystemach - wzajemne powiązania pomiędzy elementami mikromechaniki, mikroelektroniki i mikrooptyki; Mikrotechnologie mechatroniki i elektroniki; Mikromaszyning powierzchniowy i masowy; Technologie elementów fotonicznych; Metody łączenia stosowane w mikrosystemach - połączenia elektryczne i optyczne; Metody łączenia światłowodów; Technologia LIGA